[实用新型]基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置

摘要

本实用新型涉及一种基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置，该装置的技术方案是：试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在装置的底座上；精密微位移加载单元通过支承座安装在试件宏动调整机构的滑台上；精密位移检测单元的两个位移传感器嵌入在精密微位移加载单元中，通过位移变化得到压入过程中的压入载荷和压入深度值，最终结合压入理论计算出材料的力学参数。本装置结构紧凑、小型化，克服了现有测试装置由于使用载荷力传感器导致结构尺寸大，无法动态监测变形损伤过程的缺点。

主权项

一种基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置，主要由试件宏动调整机构、精密微位移加载单元、精密位移检测单元和金刚石工具头组件构成，其特征在于，所述的试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在底座(3)上；精密微位移加载单元通过支承座(9)安装在试件宏动调整机构的滑台组件(6)上；精密位移检测单元的两个位移传感器嵌入在精密微位移加载单元中；所述的试件宏动调整机构主要包括步进电机(1)、法兰盘(2)、联轴器(4)、调整旋钮(5)、滑台组件(6)、驱动挡板(7)和固定导轨(8)，法兰盘(2)和固定导轨(8)安装在底座(3)上，步进电机(1)通过螺栓安装在法兰盘(2)上，联轴器(4)一端与步进电机(1)的输出轴相连接，另一端与调节旋钮(5)相连接，步进电机(1)通过联轴器(4)将扭矩传递到调节旋钮(5)，驱动滑台组件(6)沿着固定导轨(8)直线运动。