[实用新型]一种石英加热槽无效
申请号: | 201120133457.1 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN202059594U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 沈法松 | 申请(专利权)人: | 苏州凯西石英电子有限公司 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;H05B3/06;H01L21/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;汪青 |
地址: | 215233 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石英加热槽,包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管,石英槽体在底部具有排液口,所述的石英加热槽还包括贴设在石英槽体外表面的加热电阻丝、设置在加热电阻丝外周的PP塑料层以及填充在加热电阻丝与PP塑料层之间的石英棉层,所述石英加热槽还包括穿过PP塑料层、石英棉层以及加热电阻丝而与所述排液口连通的排液管。本实用新型的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝,且还设置了石英棉保温层,保温效果好,保证芯片在酸洗过程中的保温时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 加热 | ||
【主权项】:
一种石英加热槽,包括石英槽体(1)和设置在所述石英槽体(1)内的热电偶护管(2),所述石英槽体(1)在底部具有排液口(10),其特征在于:所述的石英加热槽还包括贴设在所述石英槽体(1)外表面的加热电阻丝(3)、设置在所述加热电阻丝(3)外周的PP塑料层(4)以及填充在所述加热电阻丝(3)与所述PP塑料层(4)之间的石英棉层(5),所述石英加热槽还包括穿过所述PP塑料层(4)、石英棉层(5)以及加热电阻丝(3)而与所述排液口(10)连通的排液管(6)。
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