[实用新型]气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器

摘要

本实用新型涉及一种气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器，包括：复数组气体通道群，其中每一组气体通道群至少包括由内而外依次套叠设置的一第一气体通道、一第二气体通道、一第三气体通道，所述复数组气体通道群中的每一个第一气体通道与一第一气体分布空间相连通，所述复数组气体通道群中的每一个第二气体通道与一第二气体分布空间相连通，所述复数组气体通道群中的每一个第三气体通道与一第三气体分布空间相连通；所述第一气体分布空间与一第一反应气体相连通，所述第二气体分布空间与一第一隔离气体相连通，所述第三气体分布空间与一第二反应气体相连通。该气体输送装置能防止不同反应气体在进入反应区前预反应，而且其更易于制造。

主权项

一种用于生长第III族元素和第V族元素化合物薄膜的反应器的气体输送装置，其特征在于，包括：复数组气体通道群，其中每一组气体通道群至少包括由内而外依次套叠设置的一第一气体通道、一第二气体通道、一第三气体通道，所述复数组气体通道群中的每一个第一气体通道与一第一气体分布空间相连通，所述复数组气体通道群中的每一个第二气体通道与一第二气体分布空间相连通，所述复数组气体通道群中的每一个第三气体通道与一第三气体分布空间相连通；其中，所述第一气体分布空间与一第一反应气体相连通，所述第二气体分布空间与一第一隔离气体相连通，所述第三气体分布空间与一第二反应气体相连通。