[实用新型]一种具有可动坩埚的表面薄膜沉积装置无效
| 申请号： | 201120144896.2 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN202099378U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 倪杨 | 申请（专利权）人： | 宁波表面工程研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315177 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有可动坩埚的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述坩埚与一个能够旋转和上下运动的控制机构固定连接；由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；同时，由于激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；控制机构能够控制坩埚旋转及上下运动，提高了蒸镀材料的移动范围及使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 坩埚 表面 薄膜 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种具有可动坩埚的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述坩埚与一个能够旋转和上下运动的控制机构固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波表面工程研究中心，未经宁波表面工程研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120144896.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无梭织布机边撑器
- 下一篇：起重机司机室安全舱门
- 同类专利
- 专利分类
