[实用新型]一种双激光辐照器表面镀膜装置无效
| 申请号： | 201120144899.6 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN202099379U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 倪杨 | 申请（专利权）人： | 宁波表面工程研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315177 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种双激光辐照器表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩锅，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器，用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器；由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；而加设了一个用于离子化蒸镀材料蒸汽的第二激光辐照器，强化了离子化的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 辐照 表面 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种双激光辐照器表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩锅，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器，用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器。
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