[实用新型]蚀刻液槽有效
| 申请号： | 201120147174.2 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202072804U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王倩 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型蚀刻液槽，涉及太阳能电池，尤其涉及制绒蚀刻设备，具有密封槽体，在槽体上有HF加液管、HNO3加液管，在槽体的底部设置有排液管，在排液管设置有支管，槽体底部还设置有溢流管，在槽体的侧壁上设置有液位传感器，在槽体内设置有抽液管，在槽体顶部有溢液管，解决了频繁换药对药液及人力的浪费，使药液可以重复使用，且减少了换药时间，提高了产能；本实用新型也改善了药液使用初期由于硅酸盐过少导致的反应活性低的问题，使整个反应过程中药液保持较高的活性。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液槽，具有密封槽体，其特征在于：在槽体上有HF加液管、HNO3加液管，在槽体的底部设置有排液管，在排液管设置有支管，槽体底部还设置有溢流管，在槽体的侧壁上设置有液位传感器，在槽体内设置有抽液管，在槽体顶部有溢液管。
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