[实用新型]石英源瓶无效
| 申请号： | 201120150934.5 | 申请日： | 2011-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN202067824U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 焦哲 | 申请（专利权）人： | 乐叶光伏股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人： | 应圣义 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种石英源瓶，包括源瓶本体、进气管和出气管，以及分别设置在进气管和出气管上端口的进气控制阀和出气控制阀，其特征是：所述源瓶本体的底壁呈漏斗状，该源瓶本体的环壁延伸至所述漏斗底壁的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管的管身经所述源瓶本体的内腔穿越所述漏斗底壁后，其下端口与所述漏斗底壁的出口相联通。本实施新型将源瓶的底壁设计成漏斗状结构，使氮气由下往上鼓入液体，既加长了气体的工作行程，提高了混合蒸汽浓度均匀性，使上部混合气体更饱和浓度更稳定，又解决了源瓶结束使用后残留液体多的问题，不会出现浪费现象。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 | ||
【主权项】：
一种石英源瓶，包括源瓶本体(1)、进气管(2)和出气管(4)，以及分别设置在进气管(2)和出气管(4)上端口的进气控制阀(3)和出气控制阀(31)，其特征是：所述源瓶本体(1)的底壁呈漏斗状，该源瓶本体(1)的环壁延伸至所述漏斗底壁(11)的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管(2)的管身经所述源瓶本体(1)的内腔穿越所述漏斗底壁(11)后，其下端口与所述漏斗底壁(11)的出口相联通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐叶光伏股份有限公司，未经乐叶光伏股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120150934.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED白灯荧光粉层膜结构
- 下一篇：一种太阳能热水器管路防脱保温锁
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
