[实用新型]一种KBP晶粒摇盘装填装置无效

专利信息
申请号: 201120153216.3 申请日: 2011-05-13
公开(公告)号: CN202094096U 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 李安 申请(专利权)人: 淄博美林电子有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/67
代理公司: 淄博佳和专利代理事务所 37223 代理人: 刘衍军
地址: 255000 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种KBP晶粒摇盘装填装置,包括晶粒摇盘、晶粒吸笔、真空泵;晶粒摇盘内部为中空,上部表层设有第一晶粒吸孔;晶粒摇盘侧部设有第一出气孔;第一出气孔与经连接管与真空泵连通;晶粒吸笔表层设有第二晶粒吸孔,晶粒吸笔侧部设有第二出气孔;第二出气孔经连接管与真空泵连通;晶粒摇盘上部表层、第一晶粒吸孔左右两侧,分别对称设置有晶粒吸笔定位孔;相应地,晶粒吸笔表层、第二晶粒吸孔左右两侧,分别对称设置有晶粒吸笔定位销;晶粒吸笔定位孔可以插入晶粒吸笔定位销。其有益效果是:使用本实用新型对KBP产品晶粒进行装填时,每次能装填数船,大大提高了生产效率,减轻了员工的劳动强度,为该产品实现大规模生产奠定了基础。
搜索关键词: 一种 kbp 晶粒 装填 装置
【主权项】:
一种KBP晶粒摇盘装填装置,其特征在于:包括晶粒摇盘(1)、晶粒吸笔(2)、真空泵,所述晶粒摇盘(1)内部为中空,其上部表层设有若干排第一晶粒吸孔(11),所述第一晶粒吸孔(11)与所述晶粒摇盘(1)中空部相通;所述晶粒摇盘(1)侧部,设置有第一出气孔(12);所述第一出气孔(12)经连接管与所述真空泵连通;所述第一晶粒吸孔(11)形状与晶粒非窗口面相适配;所述晶粒吸笔(2)内部为中空,其一表层设有若干排第二晶粒吸孔(21),所述第二晶粒吸孔(21)与所述晶粒吸笔(2)中空部相通;所述晶粒吸笔(2)侧部,设置有第二出气孔(22);所述第二出气孔(22)经连接管与所述真空泵连通;所述第二晶粒吸孔(21)形状与晶粒窗口面相适配,且第二晶粒吸孔(21)小于晶粒窗口面;所述晶粒摇盘(1)上部表层、第一晶粒吸孔(11)左右两侧,分别对称设置有晶粒吸笔定位孔(13);相应地,所述晶粒吸笔(2)表层、第二晶粒吸孔(21)左右两侧,分别对称设置有晶粒吸笔定位销(23);所述晶粒吸笔定位销(23)可以插入到所述晶粒吸笔定位孔(13)内。
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