[实用新型]一种电子束浅熔池熔炼用水冷装置

摘要

本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束浅熔池熔炼用水冷装置，支撑底座内安装有水冷支撑杆，石墨块安装于水冷支撑杆的上方，支撑底座上一侧固定两根水冷连通轴，水冷铜套环采用相对成圆形的两瓣式结构，每瓣套环的一侧有套孔，套孔与水冷连通轴套装，每瓣套环可围绕水冷连通轴转动，套环的另一侧设有开闭装置，每瓣套环中开有冷却水通道，套环开闭装置一侧的支撑底座上安装有结晶器。本实用新型装置结构紧凑，构思独特，在硅锭的外壁套上多层铜套环，在铜套环中形成浅层熔池，熔炼后去除磷杂质，此装置使得熔化提纯时间减少，整体提纯时间减少，能耗降低，效率提高，去除效果良好，适合大规模工业化生产。

主权项

一种电子束浅熔池熔炼用水冷装置，支撑底座内安装有水冷支撑杆，石墨块安装于水冷支撑杆的上方，其特征是：支撑底座上一侧固定两根水冷连通轴，水冷铜套环采用相对成圆形的两瓣式结构，每瓣套环的一侧有套孔，套孔与水冷连通轴套装，每瓣套环可围绕水冷连通轴转动，套环的另一侧设有开闭装置，每瓣套环中开有冷却水通道，套环开闭装置一侧的支撑底座上安装有结晶器。