[实用新型]一种多晶硅提纯炉观察窗无效

专利信息
申请号: 201120159562.2 申请日: 2011-05-19
公开(公告)号: CN202089781U 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 李荣华 申请(专利权)人: 吴江亿泰光伏设备有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种多晶硅提纯炉观察窗,包括安装于多晶硅提纯炉的观察镜片和旋转镜片,所述观察镜片通过观察口连接管路安装于多晶硅提纯炉,所述旋转镜片连接于旋转小轴。本实用新型优点是:本实用新型通过旋转镜片阻止了硅蒸汽对观察窗的污染,旋转镜片通过旋转小轴的旋转自行清理其表面的污染物,提高了观察窗的观察效果,减少了对观察窗的污染;旋转镜片的污染物可通过旋转自行清理,方便了设备的维护;通过水套的冷却作用,保证真空密封圈不受高温影响,从而保证了系统的良好密封性。
搜索关键词: 一种 多晶 提纯 观察窗
【主权项】:
一种多晶硅提纯炉观察窗,其特征在于:其包括安装于多晶硅提纯炉的观察镜片(4)和旋转镜片(10),所述观察镜片(4)通过观察口连接管路(5)安装于多晶硅提纯炉,所述旋转镜片(10)连接于旋转小轴(17)。
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