[实用新型]一种多晶硅提纯炉观察窗无效
申请号: | 201120159562.2 | 申请日: | 2011-05-19 |
公开(公告)号: | CN202089781U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 李荣华 | 申请(专利权)人: | 吴江亿泰光伏设备有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种多晶硅提纯炉观察窗,包括安装于多晶硅提纯炉的观察镜片和旋转镜片,所述观察镜片通过观察口连接管路安装于多晶硅提纯炉,所述旋转镜片连接于旋转小轴。本实用新型优点是:本实用新型通过旋转镜片阻止了硅蒸汽对观察窗的污染,旋转镜片通过旋转小轴的旋转自行清理其表面的污染物,提高了观察窗的观察效果,减少了对观察窗的污染;旋转镜片的污染物可通过旋转自行清理,方便了设备的维护;通过水套的冷却作用,保证真空密封圈不受高温影响,从而保证了系统的良好密封性。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 观察窗 | ||
【主权项】:
一种多晶硅提纯炉观察窗,其特征在于:其包括安装于多晶硅提纯炉的观察镜片(4)和旋转镜片(10),所述观察镜片(4)通过观察口连接管路(5)安装于多晶硅提纯炉,所述旋转镜片(10)连接于旋转小轴(17)。
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