[实用新型]多晶硅生产系统和废气回收利用装置有效
| 申请号： | 201120165573.1 | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202078767U | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王小伟;张滨泉;李峰;杨光军;胡永;侯俊峰 | 申请（专利权）人： | 国电宁夏太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 753202 宁夏回族自治区*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种废气回收利用装置，包括：与各个尾气排放装置以及精馏塔相连的废气回收缓冲罐；与所述废气回收缓冲罐相连的至少一个冷凝器；与所述冷凝器相连的废气凝液回收罐；与所述废气凝液回收罐、精馏塔以及废气回收缓冲罐相连的罐区氯硅烷储罐。本实用新型通过将经各生产工序配套的废气处理装置处理后，仍未完全处理干净的废气进行集中回收，并进行减压、冷凝等过程后，使回收的废气经精馏塔提纯后重新进入还原炉中使用，从而减少废气的排放量，减少对环境的污染，同时回收大量氯硅烷供生产使用，降低了多晶硅的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 系统 废气 回收 利用 装置 | ||
【主权项】：
一种废气回收利用装置，应用于多晶硅生产系统，所述多晶硅生产系统包括与各个工序相对应的尾气排放装置、精馏塔，其特征在于，包括：与各个尾气排放装置以及精馏塔相连的废气回收缓冲罐；与所述废气回收缓冲罐相连的至少一个冷凝器；与所述冷凝器相连的废气凝液回收罐；与所述废气凝液回收罐、精馏塔以及废气回收缓冲罐相连的罐区氯硅烷储罐。
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