[实用新型]一种抛光机有效
| 申请号： | 201120169811.6 | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202088090U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 程伯海;张庆泽 | 申请（专利权）人： | 北京通美晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 101113 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种抛光机。该抛光机包括：其具有上盘和下盘，上盘的下表面安装晶片，与上盘对应的下盘一侧的机身位置上安装喷水冲洗装置，喷水冲洗装置自动冲洗晶片。本实用新型提供的抛光机，采用机械装置自动冲洗晶片，可有效解决人工清洗方式带来的成本高，清洁效果低下的问题，操作起来方便、高效，可最大程度地提高晶片抛光面的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 | ||
【主权项】：
一种抛光机，包括：所述抛光机具有上盘和下盘，所述上盘的下表面安装晶片，其特征在于，与所述上盘对应的下盘一侧的机身位置上安装喷水冲洗装置，所述喷水冲洗装置自动冲洗晶片。
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