[实用新型]涂布装置有效
| 申请号： | 201120175006.4 | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN202057959U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 战戈;张琨鹏;焦宇 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种涂布装置，涉及液晶面板制造领域，以解决涂布过程生产节拍大，生产效率低的问题。该涂布装置，包括：喷涂模块和清洗模块，所述清洗模块包括第一清洗子模块和第二清洗子模块，其中，所述第一清洗子模块、第二清洗子模块分别位于待喷涂基板相对应的两端之外。本实用新型实施例用于基板涂布。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，包括：喷涂模块和清洗模块，其特征在于，所述清洗模块包括第一清洗子模块和第二清洗子模块，其中，所述第一清洗子模块、第二清洗子模块分别位于待喷涂基板相对应的两端之外。
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