[实用新型]多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置

摘要

本实用新型多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置包括多晶硅CVD炉进气量调节装置与多晶硅CVD炉出气量调节装置，所述的多晶硅CVD炉出气量调节装置包括多晶硅CVD炉中心出气口出气调节装置和非中心出气口出气量调节装置。当多晶硅CVD炉内出现类似雾化等不良现象时，可通过调节多晶硅CVD炉进气量调节阀来降低类似雾化等不良现象；多晶硅生产前期与后期，通过调节中心出气口与非中心出气口，来控制混合气的出气量，保证混合气在多晶硅CVD炉内均匀、充分的化学反应。本实用新型，实施和操作简单，并能有效地提高多晶硅CVD炉的生产效率、提高多晶硅品质和降低多晶硅生产能耗。

主权项

多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置，其特征在于：包括进气量调节装置、或者出气量调节装置。