[实用新型]减振平台有效
| 申请号： | 201120181398.5 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN202133856U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 袁志扬;周宏权 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种减振平台，包括：基础平台，用以支撑所述减振平台；负载平台；减振器机构，所述减振器机构为3个或3个以上，并成多边形设置在所述基础平台与所述负载平台之间，用以支撑所述负载平台；负刚度机构，所述负刚度机构与所述减振器机构并排设置在所述基础平台与所述负载平台之间。本实用新型的减振平台在传统的减振器装置设计的基础上，把减振平台整体化考虑，减振器机构，与垂向执行电机和水平向执行电机设计分开，并在减振平台系统布局中增加了负刚度机构，不仅提高了设计自由度，而且由于减振器机构与负刚度机构的配合使用，能够更低程度地降低减振平台系统的刚度，更大程度地进行减振。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 | ||
【主权项】：
一种减振平台，其特征在于：所述减振平台包括：基础平台，用以支撑所述减振平台；负载平台；减振器机构，所述减振器机构为3个或3个以上，并成多边形设置在所述基础平台与所述负载平台之间，用以支撑所述负载平台；负刚度机构，所述负刚度机构与所述减振器机构并排设置在所述基础平台与所述负载平台之间。
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