[实用新型]复合层石英坩埚无效
申请号: | 201120184574.0 | 申请日: | 2011-06-02 |
公开(公告)号: | CN202116689U | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 潘绍勤;林方友;黄万全;董建安;刘奏波;上官春水;陈少永;余献军;陈官元 | 申请(专利权)人: | 江西安迈科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 李炳生 |
地址: | 333000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 复合层石英坩埚,包括本体层,所述本体层内表面具有一层透明石英玻璃层,该透明石英玻璃层的表面涂覆一层碳膜。本实用新型在进行硅单晶的拉制过程中可有效抑制坩埚体内气泡的逸出,阻止硅单晶微缺陷的产生;同时有效阻止石英坩埚被高温的硅熔体腐蚀,大大延长了石英坩埚的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 复合 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
复合层石英坩埚,包括本体层,其特征在于,所述本体层内表面具有一层透明石英玻璃层,该透明石英玻璃层的表面涂覆一层碳膜。
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