[实用新型]应变电阻与弹性体一体式传感器

摘要

本实用新型涉及一种应变电阻与弹性体一体式传感器，其特征在于在弹性体（1）上先溅射一层绝缘层（2），再溅射一层应变电阻层，利用光刻技术光刻形成需要电阻（R1、R2、R3、R4）。然后真空镀膜一组对称的导带（3、3a）作为引线用，将四个应变电阻（R1、R2、R3、R4）组成惠斯顿电桥，最后蒸发一层绝缘层（4）作为电阻及导带保护层。本实用新型提供的应变电阻与弹性体一体式传感器，该结构与其他类型的传感器相比较具有量程范围宽、桥路电阻值大、精度高、可靠性好、使用温度范围宽、温度系数小、体积小、生产效率高适合大批量生产等特点。

主权项

一种应变电阻与弹性体一体式传感器，其特征在于弹性体（1）上先设置一层绝缘层（2），绝缘层上再设置四个应变电阻（ R1、R2、R3、R4）以及一组导带（3、3a），导带（3、3a）将四个应变电阻（R1、R2、R3、R4）连接组成惠斯顿电桥，最后在应变电阻及导带上设置一层绝缘保护层（4）。