[实用新型]一种激光椭偏仪有效
| 申请号： | 201120192196.0 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202119404U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 魏文文;孙晨财;陈呈;高荣刚;勾宪芳;王鹏;姜利凯 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/21 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种激光椭偏仪，包括硅片载物台(1)，还包括设置在所述硅片载物台(1)下方的正交导轨(2)，所述正交导轨(2)上设置有由步进电机驱动的丝杠(3)，由所述步进电机驱动所述丝杠(3)转动带动所述硅片载物台(1)沿所述正交导轨(2)定向移动。本实用新型通过步进电机控制硅片载物台的移动距离，增加了测试点选择的准确性，减少测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 椭偏仪 | ||
【主权项】：
一种激光椭偏仪，包括硅片载物台(1)，其特征在于：还包括设置在所述硅片载物台(1)下方的正交导轨(2)，所述正交导轨(2)上设置有由步进电机驱动的丝杠(3)，由所述步进电机驱动所述丝杠(3)转动带动所述硅片载物台(1)沿所述正交导轨(2)定向移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中节能太阳能科技（镇江）有限公司，未经中节能太阳能科技（镇江）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120192196.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于锥形螺旋流管无阀压电泵的陀螺
- 下一篇：压力机移动工作台浮动检测装置
