[实用新型]双单色器光学系统有效
申请号: | 201120192208.X | 申请日: | 2011-06-09 |
公开(公告)号: | CN202101757U | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 赵跃鹏 | 申请(专利权)人: | 北京普析通用仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 阚梓瑄;冯志云 |
地址: | 101200*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种双单色器光学系统,包括入射狭缝、中间狭缝、出射狭缝、第一光栅、第二光栅、准直物镜和成像物镜,所述第一光栅是凹面光栅,入射光束通过所述入射狭缝射入所述第一光栅进行衍射而形成一次衍射光束,该一次衍射光束中所需要的单色光通过所述中间狭缝,经所述准直物镜准直并反射到所述第二光栅上,在该第二光栅再次进行衍射而形成二次衍射光束,该二次衍射光束经所述成像物镜聚焦后,由所述出射狭缝输出。该双单色器光学系统结构紧凑、体积小,具有较高的分辨率,并且能量利用率高。 | ||
搜索关键词: | 单色 光学系统 | ||
【主权项】:
一种双单色器光学系统,包括入射狭缝(S1)、中间狭缝(S2)、出射狭缝(S3)、第一光栅(31)、第二光栅(32)、准直物镜(34)和成像物镜(35),其特征在于,所述第一光栅(31)是凹面光栅,入射光束通过所述入射狭缝(S1)射入所述第一光栅(31)进行衍射而形成一次衍射光束,该一次衍射光束中所需要的单色光通过所述中间狭缝(S2),经所述准直物镜(34)准直并反射到所述第二光栅(32)上,在该第二光栅(32)再次进行衍射而形成二次衍射光束,该二次衍射光束经所述成像物镜(35)聚焦后,由所述出射狭缝(S3)输出。
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