[实用新型]一种射频MEMS开关无效
| 申请号： | 201120195005.6 | 申请日： | 2011-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN202084484U | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 黄菲 | 申请（专利权）人： | 南通华翰家纺布艺设计有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频MEMS开关，包括驱动电极、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统，所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统包括第一触点和第二触点，且第一触电高度低于第二触点高度，第一触点距离固定锚区距离长于第二触点高度距离固定锚区距离。本实用新型提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 mems 开关 | ||
【主权项】：
一种射频MEMS开关，其特征在于：该射频MEMS开关包括驱动电极（1）、悬臂梁（3）、共面波导信号线（4）、固定锚区（6）和衬底（7），所述驱动电极（1）、共面波导信号线（4）固定在衬底（7）上，悬臂梁（3）的固定端通过固定锚区（6）固定在共面波导信号线（4）上，驱动电极（1）位于悬臂梁（3）的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统（2），所述鲨齿式触点系统（2）位于悬臂梁（3）自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁（3）自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统（2）包括第一触点（21）和第二触点（22），且第一触电（21）高度低于第二触点（22）高度，第一触点（21）距离固定锚区（6）的距离长于第二触点（22）高度距离固定锚区（6）的距离。
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