[实用新型]一种耐磨膜电阻专用烧结炉有效
申请号: | 201120206446.1 | 申请日: | 2011-06-17 |
公开(公告)号: | CN202166310U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 宁殿涛;刘文针;梁艳臣 | 申请(专利权)人: | 珠海市华晶微电子有限公司 |
主分类号: | F27B9/06 | 分类号: | F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36;F27B9/40 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 宫爱鹏 |
地址: | 519015 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种耐磨膜电阻专用烧结炉,该烧结炉采用隧道式密闭炉膛,炉膛内设有五个温区,每个温区上下各设有一层红外线辐射板,其中,一、二温区为预热区,在一、二两温区之间设有第一输气口,在炉膛进口及二、三温区的交界处各设有一个废气排放口,三、四、五温区为高温固化区,在五温区与炉膛出口间设有第二输气口,输送产品的链带从上下两层红外辐射板之间运行,炉膛的进、出口处均设有向炉膛内水平喷射气帘的气管。本实用新型的优点为:本实用新型没有热风加热形成风压的缺点;且输气方向平行于链带,达到排出废气的目的而又不会垂直吹到产品表面,耐磨膜电阻表面不会出现粗糙的颗粒状。 | ||
搜索关键词: | 一种 耐磨 电阻 专用 烧结炉 | ||
【主权项】:
一种耐磨膜电阻专用烧结炉,其特征在于,该烧结炉采用隧道式密闭炉膛,炉膛内设有五个温区,每个温区上下各设有一层红外线辐射板,其中,一、二温区为预热区,在一、二两温区之间设有第一输气口,在炉膛进口及二、三温区的交界处各设有一个废气排放口,三、四、五温区为高温固化区,在五温区与炉膛出口间设有第二输气口,输送产品的链带从上下两层红外辐射板之间运行,炉膛的进、出口处均设有向炉膛内水平喷射气帘的气管。
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