[实用新型]水冷板式隔热冷却装置有效
申请号: | 201120215168.6 | 申请日: | 2011-06-23 |
公开(公告)号: | CN202126184U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 侯建;王震 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
主分类号: | F27D1/12 | 分类号: | F27D1/12 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种水冷板式隔热冷却装置,包括隔热本体,在隔热本体内设有水套夹层,在隔热本体上固设有分别与水套夹层相通的进水管和出水管,其特征是:所述的隔热本体为L型,所述的进水管设在隔热本体的后部立板下端,出水管设在隔热本体的前部水平板面上端,在隔热本体上沿圆周方向均布有三个电极穿孔。优点是:由于隔热本体为L型,强度高,不易颤动,避免了生产坩埚过程中因颤动而掉落杂质,提高了产品的质量和合格率;通过向水套夹层内部通入循环水进行冷却,可对隔热本体上方和后方隔断热源,可延长后部升降机构的直线轴承等部件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 水冷 板式 隔热 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种水冷板式隔热冷却装置,包括隔热本体,在隔热本体内设有水套夹层,在隔热本体上固设有分别与水套夹层相通的进水管和出水管,其特征是:所述的隔热本体为L型,所述的进水管设在隔热本体的后部立板下端,出水管设在隔热本体的前部水平板面上端,在隔热本体上沿圆周方向均布有三个电极穿孔。
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