[实用新型]一种单晶硅棒有效
申请号: | 201120218183.6 | 申请日: | 2011-06-26 |
公开(公告)号: | CN202187091U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 倪云达;葛正芳;钱大丰 | 申请(专利权)人: | 江苏顺大半导体发展有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B29/60 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 徐激波 |
地址: | 225653 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅棒,包括硅棒本体,所述硅棒本体底部通过环氧树脂沾粘在底座上,在硅棒本体的顶部两侧设有两条平行于硅棒本体轴向的导向条,在硅棒本体的前后两个端部设有挡板;所述导向条和挡板都为树脂材质,且都通过环氧树脂沾粘在硅棒本体上。本实用新型提供的单晶硅棒,使晶片入刀口厚薄均匀,有效防止晶片入刀口厚薄不均问题,同时线网在切割导向条时线弓已经产生,也可有效避免晶片的一个角厚度偏薄现象,提高晶片的质量;且硅棒两端的挡板可以在切割过程中对硅棒本体两端的晶片起保护作用,提高了成品率,切割过程中对接端面产生的碎片不会掉下来,降低了断线率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 | ||
【主权项】:
一种单晶硅棒,其特征在于:该单晶硅棒包括硅棒本体(1),所述硅棒本体(1)底部通过环氧树脂沾粘在底座(4)上,在硅棒本体(1)的顶部两侧设有两条平行于硅棒本体(1)轴向的导向条(2),在硅棒本体(1)的前后两个端部设有挡板(3);所述导向条(2)和挡板(3)都为树脂材质,且都通过环氧树脂沾粘在硅棒本体(1)上。
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