[实用新型]CdCl2气相升华后处理CdTe多晶薄膜用的石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种CdCl2气相升华后处理CdTe多晶薄膜用的石墨舟，该石墨舟包括一矩形底座，矩形底座外侧面有一用于插入热电偶的凹槽，矩形底座上嵌套有与矩形底座同样大小的叁个依次往上相互嵌套的矩形支撑圈，在相互嵌套的两个矩形支撑圈之间依次放置有石墨多孔限流薄片和待退火的CdTe多晶薄膜片，最上面的矩形支撑圈上盖有顶盖。本实用新型的优点是：舟体采用全石墨材料，可使石墨舟腔体内部温场更均匀。在CdCl2源片和待退火CdTe多晶薄膜片间增加多孔限流薄片，可保证CdCl2分子均匀到达待退火样品表面。便于移动的石墨顶盖，可使石墨舟实现封闭式或开放式工作的任意转换。热电偶置于石墨底座凹槽内，可更精确地反映石墨舟腔体内温度。

主权项

一种CdCl2气相升华后处理CdTe多晶薄膜用的石墨舟，其特征在于：该石墨舟包括：一矩形底座(3)，矩形底座外侧面有一用于插入热电偶的凹槽(4)，矩形底座上嵌套有与矩形底座同样大小的叁个依次往上相互嵌套的矩形支撑圈(2)，在第一个相互嵌套的两个矩形支撑圈之间留有的间隙用于放置石墨多孔限流薄片(5)，在第二个相互嵌套的两个矩形支撑圈之间留有的间隙用于放置待退火的CdTe多晶薄膜片(6)，最上面的矩形支撑圈上盖有顶盖(1)；矩形底座和矩形支撑圈的内壁上部有一“L”形台阶(8)，矩形支撑圈的外壁下部有一倒“L”形台阶(9)用于矩形支撑圈的相互嵌套及矩形底座的嵌套。