[实用新型]带自动拉温区功能的温度串级系统有效
| 申请号： | 201120223720.6 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202133293U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈加朋 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带自动拉温区的温度串级系统，具体地说，涉及一种扩散炉的带自动拉温区功能的温度串级系统，本实用新型提供了一种同时利用profile热偶和spike热偶进行升温和降温以及恒温阶段分阶段温度控制的带自动拉温区的温度串级系统，其包括profile热偶，其还包括spike热偶，profile热偶和spike热偶双通道温控仪表连接，双通道温控仪表和工控机连接，本实用新型，基本能够应用于大多数半导体产业的温度控制设备，并且实现无人值守的多温度点温区校准。对于温区数量、温区精度等重要指标给予用户最大的可调整空间，硬件维护方便、快捷，无需依赖设备生产厂家。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 拉温区 功能 温度 系统 | ||
【主权项】：
一种带自动拉温区功能的温度串级系统，其包括profile热偶，其特征在于，其还包括spike热偶，profile热偶和spike热偶和双通道温控仪表连接，双通道温控仪表和工控机连接。
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