[实用新型]一种应用于真空涂层领域的新型工件架有效
| 申请号： | 201120223819.6 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202139292U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 徐健;邓朝阳;张云龙 | 申请（专利权）人： | 无锡启恒科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/40 | 分类号： | C23C14/40;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于真空涂层领域的新型工件架，包括工件架大盘(5)、工件架小盘(6)、工件套管(8)和拨叉(7)，其特征在于，工件架大盘(5)上安装有多个工件架小盘(6)，工件架小盘(6)上安装有多个工件套管(8)，每个工件架小盘(6)相应安装有一个或者多个拨叉(7)，每个拨叉提供一个或者多个触点。本实用新型提供的工件架采用多个拨叉或者多触点拨叉，可以有效地提高工件上沉积涂层的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 真空 涂层 领域 新型 工件 | ||
【主权项】：
一种应用于真空涂层领域的工件架，包括工件架大盘(5)、工件架小盘(6)、工件套管(8)和拨叉(7)，其特征在于，工件架大盘(5)上安装有多个工件架小盘(6)，工件架小盘(6)上安装有多个工件套管(8)，每个工件架小盘(6)相应安装有拨叉(7)。
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