[实用新型]一种单晶炉副室抽真空装置有效
| 申请号： | 201120226116.9 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN202164377U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 韩曙波 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶炉设备领域，特别是一种单晶炉副室抽真空装置。其包括副室手动阀和副室泵，副室泵通过副室手动阀与副室连接，对副室进行抽真空，副室手动阀为定点手动阀。本实用新型的有益效果是：降低由与人员操作问题带来的对生产的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉副室抽 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉副室抽真空装置，包括副室手动阀(1)和副室泵(2)，副室泵(2)通过副室手动阀(1)与副室(3)连接，对副室(3)进行抽真空，其特征是：所述的副室手动阀(1)为定点手动阀。
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