[实用新型]超高纯锗单晶炉

摘要

本实用新型涉及探测器级的超高纯锗单晶制备的单晶炉。该超高纯锗单晶炉，包括固定装置、加热装置、冷却装置、通气装置以及拉晶装置，所述拉晶装置包括提拉部分以及热熔部分，所述提拉部分上部为籽晶杆，籽晶杆下部固定石英棒，石英棒前端固定籽晶夹具，所述籽晶夹具前端头是锗籽晶；所述热熔部分固定于石英保温环内，其通过坩埚杆固定于下法兰及底座上，坩埚杆顶部固定石英坩埚，所述石英坩埚内盛装多晶锭。本实用新型反应设备清洁度更高，炉体、坩埚及内部零件都用高纯石英件替代现用的石墨材料，且采用高频感应加热方式，避免用电阻石墨直接进行加热产生的杂质污染，降低了拉制产品过程中混杂杂质的可能性，保障了产品的纯度。

主权项

一种超高纯锗单晶炉，包括固定装置、加热装置、冷却装置、通气装置以及拉晶装置，其特征在于，所述固定装置为位于圆筒形隔热保温罩(22)上下两端的上法兰(16)，下法兰及底座(17)，以及上密封装置(14)及下密封装置(15)，隔热保温罩(22)腔体内由外至内依次设有所述加热装置、石英管(1)、石英保温环(4)以及所述拉晶装置；所述加热装置包括连接至中高频电源接口(13)的感应线圈(7)，以及固定于感应线圈(7)与石英管(1)之间的石墨加热器(9)；所述冷却装置包括设于上法兰(16)的上法兰进水口(20)以及上法兰出水口(21)，下法兰及底座(17)内同时通有冷却水；所述通气装置包括设于隔热保温罩(22)上部的进气口(18)以及出气口(19)：所述拉晶装置包括穿装于上密封装置(14)内的提拉部分以及固定于下法兰及底座(17)上的热熔部分，所述提拉部分上部为籽晶杆(11)，所述籽晶杆(11)上部穿装于上密封装置(14)内，其下部固定石英棒(5)，石英棒(5)前端固定籽晶夹具(6)，所述籽晶夹具(6)前端头是锗籽晶(24)；所述热熔部分固定于石英保温环(4)内，其通过坩埚杆(12)固定于下法兰及底座(17)上，坩埚杆(12)顶部固定石英坩埚(2)，所述石英坩埚(2)内盛装多晶锭(23)。