[实用新型]一种新型可调基片架

摘要

本实用新型公开了一种新型可调基片架，结构简单，操作方便，包括框架，框架包括顶横梁、侧立柱和底座，框架为前后并排双层的矩形结构，框架上设有基片固定装置，基片固定装置设有上梁和下梁，上梁和下梁的两端均固定连接滑动件，上梁设有一对上卡爪，上卡爪与上梁活动连接，下梁设有一对下卡爪，下卡爪与下梁活动连接，侧立柱上设有滑槽条，滑槽条与滑动件相吻合匹配；顶横梁开设有导槽，导槽中设有轴承；底座的下方设有绝缘板，绝缘板的下方设有导轨座和与导轨座相匹配的圆导轨；本实用新型操作方便，安装高度和宽度均可在可调范围内调动，在不增加真空镀膜腔空间大小的情况下，使基片架通用可调，满足不同材料、不同规格大小的基片安装。

主权项

一种新型可调基片架，包括框架，所述框架包括顶横梁（1）、侧立柱（2）和底座（3），其特征在于：所述框架为前后并排双层的矩形结构，所述框架上设有基片固定装置，所述基片固定装置设有上梁（4）和下梁（5），所述上梁（4）和下梁（5）的两端均固定连接滑动件（6），所述上梁（4）设有一对上卡爪（7），所述上卡爪（7）与上梁（4）活动连接，所述下梁（5）设有一对下卡爪（8），所述下卡爪（8）与下梁（5）活动连接，所述侧立柱（2）上设有滑槽条（9），所述滑槽条（9）与滑动件（6）相吻合匹配；所述顶横梁（1）开设有导槽，所述导槽中设有轴承（10）；所述底座（3）的下方设有绝缘板（13），所述绝缘板（13）的下方设有导轨座（12）和与所述导轨座（12）相匹配的圆导轨（14）。