[实用新型]一种旋转型靶材有效
| 申请号： | 201120227518.0 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN202148348U | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 石煜 | 申请（专利权）人： | 厦门映日光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B32B1/08;B32B15/04;B32B15/18;B32B9/04 |
| 代理公司： | 厦门市诚得知识产权代理事务所 35209 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种旋转型靶材，包括管状的金属基材、镀膜材料层，管状的金属基材两端设有肩台，管状的金属基材外表面除两端肩台外镀有镍铝材料层，镍铝材料层外部再喷涂厚度均等的镀膜材料层；优选所述的管状的金属基材为管状不锈钢基材；所述的镀膜材料层为硅铝材料层；本实用新型镀膜材料层与管状金属基材外表面结合强度高，提高其在溅射镀膜工艺中使用的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 型靶材 | ||
【主权项】：
一种旋转型靶材，包括管状的金属基材、镀膜材料层，管状的金属基材两端设有肩台，其特征在于：管状的金属基材外表面除两端肩台外镀有镍铝材料层，镍铝材料层外部再喷涂厚度均等的镀膜材料层。
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