[实用新型]自感知压电隔膜泵

摘要

本实用新型涉及一种自感知压电隔膜泵，至少包括一个复合型薄片式压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源。其特征在于，所述的复合型薄片式压电振子由PZT压电晶片(用作驱动器)、金属基板和PVDF压电薄膜(用作传感器)依次粘接而成，所述压电驱动器和压电传感器分别通过导线控制电源相连；当压电驱动器受外加电压作用发生弯曲变形时，所述压电传感器也发生弯曲变形并产生电能所产生的电压信号经适当转换处理后用于表征压电泵的输出压力与流量。本实用新型优势在于：利用一个复合型薄片式压电振子实现驱动与传感监测两种功能，无需其它压力及流量测量仪器即可实现压电泵输出性能的实时监测。

主权项

一种自感知压电隔膜泵，由一个驱动‑传感一体的复合型薄片式压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组安装于泵体上的单向阀以及一个控制电源构成；其特征在于，所述复合型薄片式压电振子由PZT压电晶片、金属基板和PVDF压电薄膜依次粘接而成，其中PZT压电晶片和PVDF压电薄膜分别用于驱动和传感；其特征还在于，当所述PZT压电晶片受外加电压作用发生弯曲变形时，所述PVDF压电薄膜也发生弯曲变形并产生电能，所产生的电压信号经转换处理后用于表征压电泵的输出压力和流量。