[实用新型]具有温度调节功能的曝光机有效
| 申请号： | 201120230225.8 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN202120036U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 黄建 | 申请（专利权）人： | 志圣科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上。本实用新型可以有效的对曝光机的温度进行调节，提高了曝光机的曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 调节 功能 曝光 | ||
【主权项】：
一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，其特征在于，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上。
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