[实用新型]用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板有效
| 申请号： | 201120232475.5 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202131225U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 应建平;李洪洪;徐志军 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C03B20/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板，其由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板，护板为铝板，加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是：该铸锭坩埚加热旋转台能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度，提高喷涂质量，减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现，提高多晶硅锭的收益率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 坩埚 喷涂 加热 旋转 硅胶 | ||
【主权项】：
一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板，其特征是：其由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板(7)、加热元件、导热硅胶布(9)、护板和导热硅胶板(11)。
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