[实用新型]一种真空吸笔有效
申请号: | 201120232549.5 | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN202132365U | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 黄钦;王平;李晓华 | 申请(专利权)人: | 常州盛世电子技术有限公司 |
主分类号: | F16B47/00 | 分类号: | F16B47/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 213144 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种真空吸笔,具有吸盘和笔杆,所述吸盘与笔杆内腔联通,所述笔杆上有一控制孔,所述控制孔与笔杆内腔联通。本实用新型减少了对硅片的污染和损伤,可以使吸附力在硅片吸附面上均匀分布,不会在局部形成吸痕或者形成鼓包,降低了破片率;吸盘上具有一个凹陷,所述凹陷与所述吸盘表面具有高度差,可以形成透气的缝隙;吸盘表面上贴有贴膜,可以减少对硅片的污染和损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 | ||
【主权项】:
一种真空吸笔,其特征在于:具有吸盘(1)和笔杆(2),所述吸盘(1)与笔杆(2)内腔联通,所述笔杆(2)上有一控制孔(21),所述控制孔(21)与笔杆(2)内腔联通。
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