[实用新型]一种气浮平台有效

专利信息
申请号: 201120232629.0 申请日: 2011-07-01
公开(公告)号: CN202124328U 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 韩学东;文亦武;常温 申请(专利权)人: 北京京城清达电子设备有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 韩国胜;王莹
地址: 100076 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型属于光机电技术领域,具体公开了一种气浮平台,其包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体,所述腔体上部具有气浮平板,所述气浮平板上具有气浮块。本实用新型的关键点在于采用多孔材料模块化设计形成气浮平台,根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块,用于提供稳定的空气,减少空气的消耗量,抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单,制造成本较低,操作简单方便,实现了非接触传输,减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力,提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 平台
【主权项】:
一种气浮平台,其特征在于,包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体(3),所述腔体(3)上部具有气浮平板(1),所述气浮平板(1)上具有气浮块(2)。
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