[实用新型]一种气浮平台有效
申请号: | 201120232629.0 | 申请日: | 2011-07-01 |
公开(公告)号: | CN202124328U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 韩学东;文亦武;常温 | 申请(专利权)人: | 北京京城清达电子设备有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜;王莹 |
地址: | 100076 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于光机电技术领域,具体公开了一种气浮平台,其包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体,所述腔体上部具有气浮平板,所述气浮平板上具有气浮块。本实用新型的关键点在于采用多孔材料模块化设计形成气浮平台,根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块,用于提供稳定的空气,减少空气的消耗量,抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单,制造成本较低,操作简单方便,实现了非接触传输,减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 平台 | ||
【主权项】:
一种气浮平台,其特征在于,包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体(3),所述腔体(3)上部具有气浮平板(1),所述气浮平板(1)上具有气浮块(2)。
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