[实用新型]借助扫描电镜实现原位压痕试验的测试装置

摘要

本实用新型涉及一种借助扫描电镜实现原位压痕试验的测试装置，属于材料微尺度力学测试领域。该装置主要由试件宏动调整机构、精密微位移加载单元、位移和载荷检测单元、金刚石工具头组件等部分构成。试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在装置的底座上；精密微位移加载单元通过支撑座安装在试件宏动调整机构的滑台上；位移和载荷检测单元中的精密位移传感器通过安装座与支撑座相连接，精密力传感器通过螺纹与精密微位移加载单元的柔性铰链相连接。优点在于：结构紧凑，总体尺寸小，可以安装在空间尺寸受限的扫描电镜的载物台上实现特征尺寸毫米级以上三维试件的原位压痕测试。

主权项

一种借助扫描电镜实现原位压痕试验的测试装置，其特征在于：包括试件宏动调整机构、精密微位移加载单元、位移和载荷检测单元及金刚石工具头组件；该试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在装置的底座（3）上；精密微位移加载单元通过支撑座（7）安装在试件宏动调整机构的滑台上；位移和载荷检测单元中的精密位移传感器（9）通过安装座（8）与支撑座（7）相连接，精密力传感器（13）与精密微位移加载单元的柔性铰链（11）相连接。