[实用新型]一种太阳能电池制作过程中的扩散用石英舟有效
| 申请号： | 201120237010.9 | 申请日： | 2011-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN202145449U | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 任现坤;马玉英;贾河顺;姜言森;王光利;张春艳;徐振华;程亮;王兆光;崔玉洁;刘鹏;李玉花;张黎明;张丽丽 | 申请（专利权）人： | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 宋玉霞 |
| 地址： | 250103 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池制作过程中的扩散用石英舟。该装置包括舟体以及舟体下方的支撑座，所述的舟体包括一对U型支撑架、一对圆柱状上支架、一对方形下支架和一个圆柱形下支架；其中，圆柱状上支架对称固定于U型支撑架两侧上端内侧壁，方形下支架对称固定设置于U型支撑架底部内侧壁，圆柱形下支架固定于U型支撑架底部两个方形下支架中间位置；方形下支架使得硅片进入的圆柱形下支架的深度小于其开槽深度，可以减少硅片在装、卸舟过程中出现的崩边、掉角、隐裂等碎片问题，提高了产品质量及合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制作 过程 中的 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池制作过程中的扩散用石英舟，包括舟体以及舟体下方的支撑架，其特征在于，所述的舟体包括一对U型支撑架、一对圆柱状上支架、一对方形下支架和一个圆柱形下支架；其中，圆柱状上支架对称固定于U型支撑架两侧上端内侧壁，方形下支架对称固定于U型支撑架底部内侧壁，圆柱形下支架固定于U型支撑架底部两个方形下支架中间位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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