[实用新型]能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置有效
| 申请号： | 201120239884.8 | 申请日： | 2011-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN202202016U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 张俊;曹建伟;严绍军;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置。该装置在内导流筒或外导流筒的下沿处设置通孔，通孔中活动安装一根石英棒，该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：(1)石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒或外导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或(2)石英棒的下部末端收回至内导流筒或外导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动。本实用新型可以直观的测量硅熔液面与导流筒的间距，不需要操作者凭经验判断；可实时监测熔液面位置，为操作者提供控制液面位置依据；可伸缩或旋转的设计使石英棒在操作过程中不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 测量 液面 导流 之间 距离 单晶炉热场 装置 | ||
【主权项】：
能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置，在硅单晶炉热场的下保温盖中间的孔内设置用于引导保护气体的内导流筒和外导流筒，内导流筒与外导流筒的上沿、内导流筒与外导流筒的下沿分别相接形成闭合的接触缘；其特征在于，在内导流筒或外导流筒的下沿处设置通孔，通孔中活动安装一根石英棒，该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：(1)石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒或外导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或，(2)石英棒的下部末端收回至内导流筒或外导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动。
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