[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201120242070.X | 申请日： | 2011-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202170361U | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 程宗文 | 申请（专利权）人： | 程宗文 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 363300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜装置，包括用于放置工件支架的卧式筒状壳体，所述筒状壳体一端部设置有固定封盖，其另一端部设置有可开启的封闭门，其特征在于：所述筒状壳体中部上侧设置有排气管路和真空气泵，所述固定封盖上设置有伸入筒状壳体内腔的正负极接线柱，所述固定封盖上还穿设有一用于驱动工件支架旋转的转轴，该真空镀膜装置结构简单，造价低廉，使用方便，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜装置，包括用于放置工件支架的卧式筒状壳体，所述筒状壳体一端部设置有固定封盖，其另一端部设置有可开启的封闭门，其特征在于：所述筒状壳体中部上侧设置有排气管路和真空气泵，所述固定封盖上设置有伸入筒状壳体内腔的正负极接线柱，所述固定封盖上还穿设有一用于驱动工件支架旋转的转轴。
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