[实用新型]单晶炉电气控制系统有效
申请号: | 201120243627.1 | 申请日: | 2011-07-12 |
公开(公告)号: | CN202139325U | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | 房志刚 | 申请(专利权)人: | 常州江南电力光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/22 | 分类号: | C30B15/22;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213125 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电气控制系统,特别是一种控制单晶硅生长的单晶炉电气控制系统,包括显示器、中央控制系统和影像采集系统;所述中央控制系统包括通讯模块和可编程控制器;所述显示器和影像采集系统通过通讯模块与中央控制系统相连;所述可编程控制器与系统输入输出控制模块相连,所述输入输出控制模块包括热场波动控制模块和单晶硅生长速度控制模块。采用上述结构后,整个系统结构简单,运行稳定可靠,可以对单晶硅棒生长过程全程监控,并自动调节单晶硅棒生长所需的参数。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 电气 控制系统 | ||
【主权项】:
一种单晶炉电气控制系统,其特征在于:包括显示器、中央控制系统和影像采集系统;所述中央控制系统包括通讯模块和可编程控制器;所述显示器和影像采集系统通过通讯模块与中央控制系统相连;所述可编程控制器与系统输入输出控制模块相连,所述输入输出控制模块包括热场波动控制模块和单晶硅生长速度控制模块。
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