[实用新型]一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统，属于单晶炉技术领域。它解决了现有技术中普通电机的速度不能进行快速变速的问题。该系统包括机架、升降台和上、下升降架，在升降台上设置有坩埚，在坩埚的上方设有晶棒，还包括上、下旋转伺服电机和上、下升降伺服电机，上旋转伺服电机固定于上升降架上且与上述的晶棒连接，上升降伺服电机固定机架上且与上升降架之间通过第一传动机构连接，下旋转伺服固定在下升降架上且与升降台连接，下升降伺服电机固定在机架上且与下升降架之间通过第二传动机构连接，上、下旋转伺服电机和上、下升降伺服电机均中央控制器连接。该系统能够使技术员根据实际生产情况随时调节晶棒与坩埚之间的转速。

主权项

一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统，包括机架(1)、升降台(2)和上、下升降架(3、4)，在升降台(2)上设置有坩埚(9)，在坩埚(9)的上方设有晶棒(12)，其特征在于，该坩埚上升及旋转系统还包括上、下旋转伺服电机(5、6)和上、下升降伺服电机(7、8)，所述的上旋转伺服电机(5)固定于上升降架(3)上且与上述的晶棒(12)连接，所述的上升降伺服电机(7)固定机架(1)上且与所述的上升降架(3)之间通过第一传动机构连接，所述的下旋转伺服固定在下升降架(4)上且与上述的升降台(2)连接，所述的下升降伺服电机(8)固定在机架(1)上且与上述的下升降架(4)之间通过第二传动机构连接，上述的上、下旋转伺服电机(5、6)和上、下升降伺服电机(7、8)均中央控制器连接。