[实用新型]一种超纯氢气制造装置有效
| 申请号： | 201120253262.0 | 申请日： | 2011-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN202144451U | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐恒泳;侯守福;于晓东;董恩宁;孙剑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置，包括原料氢气缓冲罐，过滤器，流量控制阀，加热器，金属钯复合膜氢气纯化器，换热器，氢气储罐。原料氢气缓冲罐（11）的气体出口通过管路依次经过滤器（12）、流量控制阀（13）和加热器（14）后与金属钯复合膜氢气纯化器（15）的入口相连，金属钯复合膜氢气纯化器（15）的出口通过管路经换热器（16）换热后与氢气储罐（17）相连；金属钯复合膜氢气纯化器（15）的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气，具有投资省和生产成本低的优点，可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种超纯氢气制造装置，其特征在于：包括原料氢气缓冲罐（11），过滤器（12），流量控制阀（13），加热器（14），金属钯复合膜氢气纯化器（15），换热器（16），氢气储罐（17），原料氢气缓冲罐（11）的气体出口通过管路依次经过滤器（12）、流量控制阀（13）和加热器（14）后与金属钯复合膜氢气纯化器（15）的入口相连，金属钯复合膜氢气纯化器（15）的出口通过管路经换热器（16）换热后与氢气储罐（17）相连；金属钯复合膜氢气纯化器（15）的尾气出口排空。
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