[实用新型]高效率蓝宝石晶体长晶炉有效
申请号: | 201120257055.2 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN202214439U | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 庄育丰 | 申请(专利权)人: | 庄育丰 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 秦士魁 |
地址: | 中国台湾桃园*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开高效率蓝宝石晶体长晶炉,包括真空炉体,分隔为上、下炉体,上炉体内设第一坩埚,第一坩埚外缘设加热组件,加热组件外缘设隔热装置,第一坩埚设旋动件链接外部旋动装置,第一坩埚底端设阀体链接外部阀体控制装置,阀体下端具管体连通下炉体,上炉体具有进气孔及排气孔,连通外部气体供应装置及排气装置,真空炉体外部具有中央控制装置,链接排气装置、气体供应装置,链接加热组件电源使加热组件,链接旋动装置控制第一坩埚旋转及链接阀体控制装置,真空炉体与隔热装置间设冷却槽,冷却槽上端连通冷却液供给装置,下端连通排液装置,下炉体设第二坩埚,其开口端位于管体下方,内部置有籽晶。长晶炉具高效率成长蓝宝石单晶的功效。 | ||
搜索关键词: | 高效率 蓝宝石 晶体 长晶炉 | ||
【主权项】:
一种高效率蓝宝石晶体长晶炉,其特征在于,主要包括有真空炉体,该真空炉体分隔为上炉体与下炉体,上炉体内设有第一坩埚,第一坩埚外缘设有加热组件,加热组件外缘设有隔热装置,第一坩埚设有旋动件,旋动件链接外部旋动装置,以使第一坩埚旋动,第一坩埚底端设有阀体,阀体链接外部阀体控制装置以控制阀体的启闭,阀体下端具管体连通下炉体,上炉体另具有进气孔及排气孔,以分别连通外部气体供应装置及排气装置,真空炉体外部具有中央控制装置,分别链接对真空炉体内抽真空的排气装置,提供真空炉体内气氛气体的链接气体供应装置,链接加热组件电源使加热组件对第一坩埚加热,链接旋动装置以控制第一坩埚的旋转,及链接阀体控制装置控制阀体的启闭,该真空炉体与隔热装置间设有冷却槽,冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置,冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置,该下炉体设有第二坩埚,该第二坩埚开口端位于管体下方,其内部置有籽晶。
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