[实用新型]多晶硅还原车间使用的洁净送风装置有效
申请号: | 201120259967.3 | 申请日: | 2011-07-21 |
公开(公告)号: | CN202214226U | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 许可 | 申请(专利权)人: | 上海风神环境设备工程有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 200050 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅还原车间使用的洁净送风装置,包括:一立式箱体;在所述的立式箱体内内置高效过滤器;在所述立式箱体的一侧下方设置一进风口;所述的进风口连接由室外空调机组提供的、经过初中效过滤和温度处理的风源;在所述立式箱体的另一侧上方安置至少一个射流送风口;本实用新型的有益效果是:既满足洁净和空调要求,又可让出车间空间,使得生产工艺不受阻碍。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 车间 使用 洁净 送风 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原车间使用的洁净送风装置,其特征在于包括:一立式箱体;在所述的立式箱体内内置高效过滤器;在所述立式箱体的一侧下方设置一进风口;所述的进风口连接由室外空调机组提供的、经过初中效过滤和温度处理的风源;在所述立式箱体的另一侧上方安置至少一个射流送风口。
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