[实用新型]一种单晶炉坩埚托有效
申请号: | 201120260317.0 | 申请日: | 2011-07-21 |
公开(公告)号: | CN202181364U | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 刘宏;林平;张建中 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B35/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 温子云 |
地址: | 239300 安徽省天长市秦栏*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提出一种单晶炉坩埚托,包括由碳/碳复合材料制成的坩埚托本体,所述坩埚托本体为碟状,其上表面外延向其中心延伸,形成一个逐渐下降的坡面,所述上表面的中心部位向内凹陷,形成一个其中心轴与所述坩埚托本体的中心轴重合的柱状容纳部。本实用新型采用碳纤维材料制成,可以有效保证其使用寿命,同时,采用碟状结构使得本实用新型耗费尽量少的原材料,可以有效节约原料成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 坩埚 | ||
【主权项】:
一种单晶炉坩埚托,包括由碳纤维材料制成的坩埚托本体(3),其特征在于,所述坩埚托本体(3)为碟状,其上表面(2)外延向其中心延伸,形成一个逐渐下降的坡面,所述上表面(2)的中心部位向内凹陷,形成一个其中心轴与所述坩埚托本体(3)的中心轴重合的柱状容纳部(1)。
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