[实用新型]一种太阳能硅片外观检测设备有效
申请号: | 201120262082.9 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN202189762U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请(专利权)人: | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214423 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能硅片外观检测设备,它包括底板、安装在底板上的供料组件、硅检测组件和收料组件,硅检测组件包括其上开有进料孔的进料板,所述进料板设置在透明载盘的顶面和供料吸头之间,收料组件包括其输出轴上连接有毛刷的不合格品收料马达、设置在所述的透明载盘上方的合格品吸头和设置在透明载盘下方的合格品盒以及不合格品盒。本装置采用透明载盘实现不用对硅片的翻转即可实现对硅片的上下表面进行检测,减少了由于翻转造成对硅片的损坏及污染,且采用统一模板检测方式降低了由于人工检测造成的标准不一致,提高了生产效率,保证了产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 外观 检测 设备 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片外观检测设备,所述设备包括底板、安装在所述底板上的供料组件、硅检测组件和收料组件,其特征在于,所述的硅检测组件包括其上开有进料孔的进料板,所述进料板设置在透明载盘的顶面和供料吸头之间,所述的供料吸头通过第二水平驱动装置对准所述的进料板的进料孔设置,第一检测硅传感器和第三检测硅传感器设置在透明载盘的上方并且第二检测硅传感器设置在其下方,每一所述的检测硅传感器以及进料孔的中心位于以透明载盘旋转中心为圆心的同一圆周上,所述的透明载盘通过连接在其中轴上的旋转驱动装置的驱动能够在水平面内做旋转运动;所述收料组件包括其输出轴上连接有毛刷的不合格品收料马达、设置在所述的透明载盘上方的合格品吸头和设置在透明载盘下方的合格品盒以及不合格品盒,所述的合格品吸头通过与其相连的第四水平驱动装置能够沿水平方向移动至合格品盒以及透明载盘的正上方,所述的毛刷设置在透明载盘的正上方并且与所述的不合格品盒相对设置,供料吸头和合格品吸头的气孔分别与真空负压装置相连,一个上位机的信号输入端与供料硅传感器以及第一至第三检测硅传感器相连并且其信号输出端与第一至第四水平驱动装置、旋转驱动装置以及不合格品收料马达的信号输入端相连以控制其正、反转、停止。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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