[实用新型]一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置

摘要

本实用新型公开了一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。提供动力后聚四氟乙烯多孔花篮呈上下运动状态，达到动态清洗的目的。

主权项

一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，所述装置包括滑槽、驱动板、平衡连接杆、滑块、石英烧杯、有机或无机溶液、固定架、恒温水浴、恒温水槽、拨盘、拨杆、力臂杆、步进电机、步进调速电源、导轨、主杆架、花篮手柄和聚四氟乙烯多孔花篮，其特征在于，所述的聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，所述花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，所述聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在所述力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，所述滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使所述滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；所述平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；所述的主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。