[实用新型]一种硅片传送机的取片和定位装置有效
| 申请号： | 201120263161.1 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202189770U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请（专利权）人： | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片传送机的取片和定位装置，该装置包括基板、控制电路和受控于控制电路的载盘、光电传感器、旋转吸嘴、转盘、翻转吸嘴、曲线定位器，其中：载盘可沿中心线滑动的固定在基板上；光电传感器位于载盘的上方，光电传感器的中心轴与载盘的中心线垂直相交；旋转吸嘴可滑动的固定在载盘和转盘的上方；转盘、翻转吸嘴和曲线定位器均固定在基板上，翻转吸嘴的两个翻转位置分别与转盘、曲线定位器相对应。该硅片传送机的取片和定位装置具有成本较低，取片效率高，性能稳定，定位准确且可降低硅片磨损诸多优点及实用价值，其不论在装置结构或功能上皆有较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 传送 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述装置包括基板、控制电路和受控于控制电路的载盘、光电传感器、旋转吸嘴、转盘、翻转吸嘴、曲线定位器，其中：载盘可沿中心线滑动的固定在基板上；光电传感器位于载盘的上方，所述光电传感器的中心轴与载盘的中心线垂直相交；旋转吸嘴可滑动的固定在载盘和转盘的上方；转盘、翻转吸嘴和曲线定位器均固定在基板上，所述翻转吸嘴的两个翻转位置分别与转盘、曲线定位器相对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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