[实用新型]改进真空镀膜机传动机构

摘要

一种改进真空镀膜机传动机构包括第一旋转支架、第二旋转支架以及驱动第二旋转支架连带第一旋转支架往复转动的马达，第一、第二旋转支架位于真空腔室内，第一旋转支架包括第一上内环、第一上外环、两端分别连接于第一上内环和第一上外环并呈辐射状分布的多个辐条以及第一下环，第一上外环与第一下环通过多个并行的第一直立杆连接固定，第二旋转支架包括第二上环和第二下环，第二上环与第二下环间通过多根第二直立杆连接固定，第二下环设有便于对应第一直立杆穿过的弧形孔，第一上内环和第一上外环间设有多个可固定镀膜工件的托盘，托盘通过中心轴转动固定于第一上内环和第一上外环间，托盘上中心转轴对应端与第二上环分别设有相互啮合的齿条和齿轮。

主权项

一种改进真空镀膜机传动机构，包括第一旋转支架、第二旋转支架以及能驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动的马达(22)，该第一、第二旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：1)该第一旋转支架包括固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)的第一上内环(9)、位于该第一上内环(9)外围的第一上外环(10)、两端分别连接于该第一上内环(9)和第一上外环(10)并呈辐射状分布的多个辐条(25)以及第一下环(5)，该第一上外环(10)与该第一下环之间通过多个并行的第一直立杆(6)连接固定，对应该第一下环的内边缘，该底座设有多个便于该第一下环(5)转动的滚轮(4)；2)该第二旋转支架包括位于该第一上外环(10)外围的第二上环(14)以及位于该第一下环(5)上方的第二下环(16)，该第二上环(14)与该第二下环(16)之间通过多根并行的第二直立杆(17)连接固定，对应该多根第一直立杆(6)，该第二下环(16)上分别设有便于第一直立杆(6)穿过的多个弧形孔(18)，并且该第一下环(5)与该第二下环(16)之间还分别设有便于滑动的滚轮和滑槽；3)该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间还设有多个可固定镀膜工件的托盘(11)，该多个托盘分别通过中心轴转动固定于该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间，并且该托盘(11)上中心转轴对应端与该第二上环(14)还分别设有相互啮合的齿条(15)和齿轮(13)。