[实用新型]设有外支撑的射频连接结构

摘要

本实用新型设有外支撑的射频连接结构，其用于气相沉积反应腔，包括第一射频电缆和第二射频电缆，第一射频电缆的一端与第二射频电缆的中部相连并导通，第二射频电缆的两端分别与两个电极盒相连，还包括T形支撑架，T形支撑架由套设在第一射频电缆上的第一支撑管和套设在第二射频电缆上的第二支撑管构成，第一支撑管的一端固定在第二支撑管上，第一支撑管的另一端固定在气相沉积反应腔的底板上。本实用新型设有外支撑的射频连接结构，通过外部支撑架的支撑，防止射频电缆的弯曲，也减少了固定焊点，增加了射频连接结构在真空和高温环境下的使用寿命。

主权项

一种设有外支撑的射频连接结构，包括第一射频电缆(1)和第二射频电缆(2)，第一射频电缆的端部与第二射频电缆的中部相连并导通，第二射频电缆的两端分别与两个电极盒电连接，其特征在于，还包括T形支撑架，T形支撑架由套设在所述第一射频电缆上的第一支撑管(9)和套设在第二射频电缆上的第二支撑管(3)构成，第一支撑管(9)的一端固定在第二支撑管(3)上，第一支撑管(9)的另一端固定在气相沉积反应腔的底板上。